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在设计高度使用时科磊(KLA)半导体设备气动隔振器的安装

来源:上海松夏减震器有限公司    发布时间:2023-05-23 14:48

理论上气动隔振器应保持在同一平面上(与地面平行),在不可能达到的情况下,请按照以下指导做:两个固定装配点之间的距离至少应是高度值的两倍。两个装配点之间的距离是1170mm.高度是1220mm.因此,这个气动隔振器的安装位置不符合我们的指导要求。
有两个改进方案:1.增加底座尺寸来满足即增加的宽度至少应该是1220x2=2440mm才能符合我们的要求。2.改变空气弹簧的安装位置以达到此目的。在设计高度使用,因为它是保证横向刚性或稳定性的关键点,横向刚性随高度降低而减小。注意:当从设计高度向下移动30mm后,气动隔振器在纵横方面就不够稳定了。科磊(KLA)半导体设备气动隔振器簧安装位置上下限位装置一般地,在各个方向即压缩、延伸及横向方向都要安装挡块。纵向挡块的定位根据正常运转,启动,关闭过程的移动幅度来定。且纵向挡块要有足够强度,气动隔振器的安装位置以满足当空气弹簧失效时支撑起整个振动设备,避免造成设备损坏或人身伤害。经验得知,纵向挡块在距设计高度图12mm处,横向挡块是图12mm(水平位置)。
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