SSB225/20型投影光刻机空气隔振器使用教程

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来源：上海松夏减震器有限公司发布时间：2023-08-08 11:39

在现代科学技术的快速发展下，投影光刻机作为一种重要的微细加工设备，广泛运用于半导体行业、科学研究领域等。为了确保光刻机的高精度加工效果，提高设备的稳定性和可靠性，投影光刻机空气隔振器的使用就显得尤为重要。本文将介绍SSB225/20型投影光刻机空气隔振器的使用方法，帮助用户正确操作和维护设备。

1.在使用SSB225/20型投影光刻机空气隔振器之前，首先需要检查隔振器的安装是否正确。确保安装位置平整稳固，并且与光刻机底座连接紧密。同时，检查气源管道的连接情况，确保气体能够顺利进入隔振器，维持正常的工作状态。

2.接下来，我们需要了解如何正确操作SSB225/20型投影光刻机空气隔振器。首先，打开气源开关，保证气体供应正常。然后，通过调节气源压力控制阀，将隔振器内气囊的压力调整到合适的范围。过高或过低的气囊压力都会影响设备的工作效果，因此需根据实际需要进行调节。

3.隔振器内的气囊压力调整完毕后，我们需要进行水平度和垂直度的校准。首先，打开光刻机的水平校准功能，并根据设备操作手册的要求进行相关调整。对于垂直度的校准，可以通过控制气源开关和气囊压力控制阀，来实现隔振器的升降调整。在调整过程中，需要注意保持光刻机的稳定，避免产生任何不必要的震动。

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