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半导体设备空气弹簧减震器具有优异的非线性和硬性

来源:上海松夏减震器有限公司    发布时间:2023-05-26 15:58

半导体设备空气弹簧减震器具有优异的非线性和硬性,能限定震幅,防止共振和冲击共振频率能够设计成非常低,甚至低于1Hz,共振频率通常为5-7Hz。减振效率远高于其他减振元件,能够隔离低频振动。作为具有可调节的非线性静态刚度和减震特点的减振元件。其特点是力伴随着运动速度变化而变化。当导气弹簧力的作用点移动较快时,弹簧阻力明显,而作用点移动较慢时,阻力很小。
空气弹簧一般由奥氏体材料或依据客户的要求制造。活塞杆行程尺寸8mm的余量,尺寸选择合理,应力适当。选用球形空气弹簧和铰链式波纹管,应加装导向支架,防止波纹管失去了稳定性。选用其他方式,补偿管道太长时,还应提供导向支撑。补偿管道较长时要采用减小磨擦。
空气弹簧的密封结构设计大多选用结构,两边,端面为光滑突面,两两边用螺钉连接到能够密封严密。隔离外部环境对印压光刻机的影响,能够保护压印机不受低频激振力的激起。确定了低频单度减振系统的减振原理,确定了刚度及减振系统的共振频率,并与实际减振系统的实验结果相符合,说明印压光刻机低频减振设计合理可行。
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